Конгресс молодых ученых, 2021 год
НИИ НПО ЛУЧ, Награждение сотрудников государственными наградами, 2021 год
Создание Национального центра физики и математики в Сарове, 2021 год
Анонсы
Дата: 10.03.2023
Место: МГУ Саров
Первый научный семинар Национального центра физики и математики на кампусе МГУ Саров

Первый научный семинар Национального центра физики и математики (НЦФМ) пройдёт на кампусе МГУ Саров – образовательного ядра НЦФМ – в рамках Десятилетия науки и технологий в России. Учёные обсудят развитие технологии проекционной литографии в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне (EUV), а также перспективы её реализации в стране 10 марта в 16:45.

Научный руководитель НЦФМ академик РАН Александр Сергеев выступит с докладом «О начале работы научного семинара НЦФМ». Заведующий отделом многослойной рентгеновской оптики Института физики микроструктур (ИФМ) РАН Николай Чхало представит доклад «EUV-литография: принципы, состояние и дорожная карта развития в России».

Николай Чхало представит в своем докладе краткий обзор истории развития технологии проекционной EUV-литографии в мире: расскажет о принципах построения EUV-литографа и месте, которая эта технология занимает в современной микроэлектронике. Значительная часть доклада будет посвящена разработанной в ИФМ РАН дорожной карте развития высокопроизводительной проекционной литографии в России до 2030 года.

На семинаре учёные смогут обсудить критические технологии, обладание которыми необходимо для создания современной литографической установки с рабочей длиной волны, лежащей в EUV-диапазоне, на примере литографа TWINSCAN NXE: 3600D от нидерландской компании ASML. В ходе семинара будут также рассмотрены имеющиеся в России экспериментальные заделы в области технологий EUV-литографии.

Научный семинар пройдёт очно в учебном блоке Филиала МГУ в Сарове по адресу: Нижегородская область, г. Саров, ул. Парковая, д. 8.

К участию в семинаре приглашаются все желающие.

Трансляция семинара будет доступна по ссылке https://vk.com/video-215983798_456239047.

Справка о Десятилетии науки и технологий России:

С 2022 по 2031 год в России проходит Десятилетие науки и технологий. Его основные цели – привлечение молодежи в сферу науки и технологий, вовлечение исследователей и разработчиков в решение важных задач для страны и общества и рост знания людей о достижениях Российской науки. Более подробная информация об инициативах, мероприятиях и проектах Десятилетия науки и технологий – на сайте наука.рф. Оператор проведения Десятилетия науки и технологий – АНО «Национальные приоритеты».

';
Спасибо!
Вы успешно подписаны
на обновления